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API 进口激光干涉仪（美国自动精密工程）

激光干涉仪产物具有测量精度高、测量速度快、、高测速下分辨率高、测量范围大等优点。通过与不同的光学组件结合，可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的测量。在相关软件的配合下，还可以对数控机床进行动态性能检测，可以进行机床振动测试与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析等，具有*的精度和效率，为机床误差修正提供依据。

础笔滨激光干涉仪

激光器发射单一频率光束射入线性干涉镜，然后分成两道光束，一道光束（参考光束）射向连接分光镜的反射镜，而第二道透射光束（测量光束）则通过分光镜射入第二个反射镜，这两道光束再反射回到分光镜，重新汇聚之后返回激光器，其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉（见图）。若光程差没有变化时，探测器会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。&苍产蝉辫;
    若光程差有变化时，探测器会在每一次光程变化时，在相长性和相消性干涉的两极之间找到变化信号，这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。

API XD干涉仪线性定位误差的测量方法:
¾ 一次安装也可同时测量其它五个参数;
¾ 可利用电脑中的直线度实时显示,
数字化去除余弦差，测量准确;
¾ 两点调光，对光迅速

直线度测量— API XD的方法

应用良好的笔厂顿技术：光电位置敏感检测器。它可将光敏面上的光点位置转化为电信号)

¾ 不怕断光，可用于导轨的安装调试(类似于自准直仪)
¾ 对直线度进行1:1的测量
¾ 可一次性安装, 与线性误差一起测量, 方便, 快速

垂直度测量— API XD的方法

¾ API XD激光干涉仪是通过PSD技术1:1进行直线度测量的，所以API干涉仪测两轴垂直度时只需一个五角棱镜既可，无需其他镜组. 装/调非常方便快速
¾ 在测两轴的垂直度的同时，两轴各自的线性定位误差、直线度，偏摆角、俯仰角都可一次测出，大大节省了测量所占用机床的时间，也可避免人为差错。

偏摆角/俯仰角测量 — API XD的方法

¾ 良好的PSD技术来测量小角度: 当入射光经分光镜射到凸透镜上后，如果轴无角度变化，则光线经透镜聚在焦点上；如果轴有角度变化，则光线会在焦平面上的PSD光靶上得到两个方向的坐标值，从而与焦距比较得出角度值。
¾ 测量角度过程中不怕断光, 可用于导轨的安装调试
¾ 不受滚动角的影响，调整光路容易

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